Une lentille en quartz dans un système de lithographie EUV s'est fracturée, arrêtant la production de micro-puces. La défaillance, attribuée à l'absorption résiduelle de photons de haute énergie, a généré une fatigue thermique. Pour l'analyse médico-légale, un micro-CT 3D a été utilisé avec VGSTUDIO MAX et Keyence VHX-7000, recherchant des micro-fissures internes compromettant l'intégrité structurelle.
Inspection non destructive et simulation de défaillances 🔬
Le micro-CT 3D permet de détecter les défauts sous-superficiels dans le quartz sans démonter l'optique. Avec VGSTUDIO MAX, les fissures sont segmentées et corrélées aux motifs de contrainte thermique. Parallèlement, Autodesk Fusion 360 modélise la géométrie de la lentille pour simuler la propagation des fissures, tandis que NVIDIA Omniverse intègre ces données dans un jumeau numérique du système EUV. Ce flux de travail anticipe les points critiques de défaillance avant qu'ils ne se produisent en production.
Leçons pour la micro-fabrication 3D ⚙️
L'arrêt de production dû à une lentille fracturée coûte des millions par heure. L'inspection non destructive par micro-CT et la simulation 3D n'identifient pas seulement les micro-fissures, mais valident les cycles thermiques du processus EUV. Intégrer ces outils dans la maintenance prédictive est aujourd'hui une nécessité stratégique pour l'industrie des semi-conducteurs, où la fiabilité optique définit le rendement des puces.
Quel a été le facteur de fatigue thermique dans la lentille en quartz que le micro-CT 3D a identifié comme initiateur de la fracture dans le système de lithographie EUV ?
(PS : sur Foro3D, notre lithographie préférée est celle d'imprimer des couches de filament)