极紫外光刻系统中的石英透镜发生破裂，导致微芯片生产中断。该故障归因于高能光子的残余吸收，引发了热疲劳。为进行故障分析，采用了配备VGSTUDIO MAX和Keyence VHX-7000的3D显微CT技术，以寻找危及结构完整性的内部微裂纹。
无损检测与故障模拟 🔬
3D显微CT技术可在不拆卸光学系统的情况下检测石英中的亚表面缺陷。利用VGSTUDIO MAX，对裂纹进行分割，并将其与热应力模式相关联。同时，Autodesk Fusion 360对透镜几何形状进行建模，以模拟裂纹扩展，而NVIDIA Omniverse则将这些数据集成到极紫外系统的数字孪生中。该工作流程可在生产前预判关键故障点。
对3D微细加工的启示 ⚙️
因透镜破裂导致的生产停工每小时损失数百万美元。采用显微CT的无损检测和3D模拟不仅能识别微裂纹，还能验证极紫外工艺的热循环。将这些工具集成到预测性维护中，如今已成为半导体行业的战略需求，因为光学可靠性决定了芯片的性能。
3D显微CT识别出石英透镜中哪个热疲劳因素是极紫外光刻系统破裂的起始点？
(附注：在Foro3D，我们最喜爱的光刻方式是打印长丝层)